希爾思熱式質(zhì)量流量計(jì)是一種利用熱量傳遞原理測(cè)量微小流量的直接式質(zhì)量流量儀表，即通過測(cè)量管中流動(dòng)中的流體與測(cè)量管外的熱源之間熱量交換關(guān)系來計(jì)量流量。

　　熱式質(zhì)量流量計(jì)采用熱擴(kuò)散原理，熱擴(kuò)散技術(shù)是一種在苛刻條件下性能優(yōu)良、可靠性高的技術(shù)。其典型傳感元件包括兩個(gè)熱電阻（鉑RTD），一個(gè)是速度傳感器，一個(gè)是自動(dòng)補(bǔ)償氣體溫度變化的溫度傳感器。當(dāng)兩個(gè)RTD被置于介質(zhì)中時(shí)，其中速度傳感器被加熱到環(huán)境溫度以上的一個(gè)恒定的溫度，另一個(gè)溫度傳感器用于感應(yīng)介質(zhì)溫度。流經(jīng)速度傳感器的氣體質(zhì)量流量是通過傳感元件的熱傳遞量來計(jì)算的。氣體流速增加，介質(zhì)帶走的熱量增多。使傳感器溫度隨之降低。為了保持溫度的恒定，則必須增加通過傳感器的工作電流，此增加的部分電流大小與介質(zhì)的流速成正比。

　　希爾思熱式質(zhì)量流量計(jì)用的最多的有兩類，一類式利用流動(dòng)流體傳遞熱量，改變測(cè)量管壁溫度分布的熱傳導(dǎo)分布效應(yīng)的熱分布式流量計(jì)；另一類是利用熱消散（冷卻）效應(yīng)的金式定律熱式流量計(jì)。熱式質(zhì)量流量計(jì)較多的是用于氣體的流量計(jì)量，而后逐步開發(fā)了基于熱分布原理的液體流量計(jì)量產(chǎn)品。因其測(cè)量原理不同于科氏質(zhì)量流量計(jì)，使其具有幾點(diǎn)不同的特性：

　?。?）熱式質(zhì)量流量計(jì)能夠測(cè)量極微小的流量，小至5g/h（遠(yuǎn)高于化學(xué)藥劑注入系統(tǒng)對(duì)最小測(cè)量能力的需求），量程比20~50∶1。

　?。?）希爾思熱式質(zhì)量流量計(jì)需要一定的啟動(dòng)預(yù)熱時(shí)間（10~20min），并且對(duì)操作溫度有要求（通常在5℃~50℃之間），如果使用環(huán)境溫度過低還需要增加保溫伴熱措施。